*目前預約方式為奈米實驗室內部系統，非國科會預約平台，敬請見諒。

儀器中文名稱：場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散射X光能譜儀

儀器英文名稱：Field Emission Scanning Electron Microscope with Energy Dispersive Spectrometer

儀器英文簡稱：FE-SEM / EDS

儀器設備說明：

• 購置時間：民國 93 年
• 放置地點：國立中正大學 工學院二館 化工館R206
• 廠牌型號：Hitachi S4800-I / BRUKER XFlash® 7|60
• 儀器規格：

1. 加速電壓：0.1 – 30 KV
2. 放大倍率：30 – 800,000x
3. 發射源：冷陰極場發射電子槍
4. 二次電子解析度：1.0nm（at 15kV）or 2.0nm（at 1kV）
5. 探測器面積：60 mm²（Silicon Drift Detector, SDD）
6. 能量解析度：約121 – 129 eV (Mn Kα
7. 探測範圍：約 100 eV – 0 keV
8. 最大輸入計數率：> 1,500 kcps
9. 軟體模組：Spectrum / Quant / EQuant / TQuant / Map / QMap / HyperMap / AutoPhase / Line / QLine / ColorScan / Report / Jobs

服務項目：

• Top View 俯視影像拍攝
• Cross Section 截面影像拍攝（不提供切割樣品服務）
• EDS 點、線、面元素 定性與定量分析

樣本製備要求：

• 不接受揮發性物質、有機物質、有毒物質。
• 禁用磁性材料（Fe、Co、Ni、Mn 含量須 < 3 wt%）及生物材料。
• 粉體樣品顆粒尺寸不得大於 10 μm
• 塊狀／片狀樣品尺寸不得大於 100 mm × 100 mm
• 樣品須保持清潔與乾燥，油污及腐蝕性液體需清洗乾淨並完全烘乾

收費標準：

• 請依據實驗後所開立之繳費通知單辦理匯款作業。
• 如於一個月內未完成繳費，該用戶於隔月將暫停儀器預約資格。

開放服務對象：目前僅提供校內委託操作服務，產業界如有需求，請來電洽詢。

                    每月 15 日上午 10:00 起，開放次月時段預約。

                    線上預約網址：https://calendar.app.google/qpV8cV4VYAVAHdCw5

預約注意事項：

• 樣品不符合規定或可能對儀器設備、人員造成危害者，將無條件取消預約。
• 若隱匿樣品危險性，導致人員受傷或儀器設備異常，使用者須負擔相關法律與賠償責任。
• 本儀器不提供數據研析服務，僅提供原始數據與檔案存取。
• 檢測結果僅供學術研究使用，不得用於商業廣告、法律訴訟或其他非學術用途。
• 取消實驗須於3天前來電辦理；逾期取消者仍須酌收燈絲使用費。
• 預約者遲到超過30分鐘，視同取消該時段服務並扣款。
• 未事先通知無故未到，累犯兩次者，停權一個月。
• 有關儀器預約或取消事宜，請洽儀器負責管理員。

聯絡資訊：

• 儀器負責教授：李元堯 教授

TEL：(05)2720-0411 #33403

E-Mail：chmyyl@ccu.edu.tw

• 儀器負責管理員：王建閎 先生

TEL：(05)2720-0411 #33499

E-Mail：ccu.fesem@gmail.com